|
真空知識及真空泵
2025-06-16
半導(dǎo)體及電子行業(yè)接觸的真空一般指的是氣壓比一標(biāo)準(zhǔn)大氣壓小的氣體空間，是指稀薄的氣體狀態(tài)，又可分為極高真空、高真空、中真空和低真空，分類如下表所示： 真空一般是用特制的抽氣機(jī)獲得，它的氣體稀薄程度用真空計測定，現(xiàn)在已能用分子抽氣機(jī)和擴(kuò)散抽氣機(jī)得到1*10-14pa大氣壓的極高真空。真空技術(shù)在芯片制造，太陽能電池片制造，光學(xué)膜制造、電真空儀器，電子管和其他電子儀器方面均有廣泛應(yīng)用。 普通真空泵，壓強(qiáng)可達(dá)到1.333~100kPa(10~760mmHg)為“粗”真空； 油泵，壓強(qiáng)可達(dá)0.133~133.3Pa(0.001~1mmHg)為“次高”真空 ； 擴(kuò)散泵，壓強(qiáng)可達(dá)0.133Pa以下，(10-3mmHg)為“高”真空； 不同真空度狀況下分子密度狀態(tài)： 真空泵是最主要的真空裝備、從產(chǎn)生真空原理上分為：容積式真空泵（如液環(huán)泵，螺桿泵，羅茨泵等）；動量傳遞式真空泵（如分子泵：噴射真空泵:擴(kuò)散泵均屬于此類）；氣體捕集式真空泵（如鈦升華、鋯鋁合金吸氣泵、低溫泵濺射離子泵、熱蒸發(fā)鈦升華泵等） 以上內(nèi)容來自于網(wǎng)絡(luò),如有侵權(quán)聯(lián)系即刪除 |
